특허 요약: KR20070118959A제목: 고 전류 고 주파수 전력 교류-주파수 차단 필터를 이용한 플라즈마 반응기 가열용발명자: 발렌틴 엔. 토도로브출원인: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드출원일: 2007년 6월 11일공개일: 2007년 12월 18일우선권 날짜: 2006년 6월 13일요약: 이 특허는 플라즈마 반응기에서 전기 정전 척을 가열하기 위한 고 전류 교류(AC)와 고 주파수(RF) 전력의 교류-주파수 차단 필터에 관한 것입니다. 이 필터는 가열 회로로 인해 플라즈마나 챔버 임피던스의 변화를 줄여주는 역할을 합니다. RF 필터(42,46)의 한 쌍은 리액턴스 저항을 보여줍니다.기술 개요:목적: 플라즈마 반응기 가열용 필터의 성능 향상.특징: AC-RF 디커플링 필터는 고 AC 전류와 ..
