진공 챔버 내에서 가스를 제거하는 과정을 생각해 봅시다. 시간에 따라 가스를 제거할 때 다음과 같이 표현할 수 있습니다.$$\frac{dm}{dt}$$여기서 mmm은 가스의 질량입니다. 가스의 질량을 밀도와 부피로 표현할 수도 있고, 분자량과 분자수로도 표현할 수 있습니다. 후자의 방법으로 표현해보겠습니다.$$\frac{dm}{dt}=\frac{d(Nmi)}{dt}$$여기서 $m_i$ 는 분자량이고, $N$ 은 분자수입니다. 이상기체 상태방정식 $PV=NkT$를 이용하면 다음과 같이 정리할 수 있습니다.$$\frac{dm}{dt}=\frac{d}{dt}(\frac{m_i PV}{kT}))$$$m_i$, $k$는 상수이고, 진공 펌핑 과정에서 $T$ 를 상수로 가정할 수 있습니다. 이는 열교환기를 통해..