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SUS304, 304L, 316, 그리고 316L은 스테인리스 스틸의 다양한 등급으로, 각각의 등급은 고유의 화학적 조성과 특성을 가지고 있습니다. 아래에 각 등급에 대한 설명을 제공합니다.SUS304• 구성: 주로 철(Fe), 크롬(Cr), 니켈(Ni)로 구성되어 있으며, 일반적으로 18-20% 크롬과 8-10.5% 니켈을 포함합니다.• 특성: 내식성이 좋고 가공성이 뛰어나며 용접성이 우수합니다. 일반적으로 가정용 기기, 건축 자재, 화학 공장 장비 등에 사용됩니다.• 용도: 주방기구, 싱크대, 음식 가공 장비, 자동차 부품 등.SUS304L• 구성: SUS304와 유사하지만, 탄소(C) 함량이 낮습니다(0.03% 이하).• 특성: 낮은 탄소 함량 덕분에 용접 후의 부식에 더 강합니다. 따라서 용접 후..

EBW(Electron Beam Welding)은 알루미늄 합금의 고성능 용접을 위해 널리 사용되는 기술입니다. 이 용접 기술에 대한 기본적인 정보와 장점, 단점, 그리고 적용 분야에 대해 설명드리겠습니다.EBW(Electron Beam Welding)란?전자 빔 용접(Electron Beam Welding, EBW)은 고에너지 전자 빔을 사용하여 금속을 용접하는 기술입니다. 진공 상태에서 고속 전자를 가속시켜 용접할 재료에 충돌시키면 열이 발생하여 금속이 녹고, 이를 통해 용접이 이루어집니다.알루미늄 합금의 EBW 장점1. 높은 용접 품질: EBW는 고속 전자 빔을 사용하여 매우 높은 열 밀도를 제공하기 때문에, 알루미늄 합금의 깨끗하고 견고한 용접이 가능합니다.2. 낮은 열 변형: 높은 집중력으로 인..

Sealing Surface(가운데 구멍 주변의 플랜지)은 평평합니다. IGS panel의 Gas path block입니다. 아마 아이코어 社의 제품으로 보입니다.  후지킨 社 의 W-Seal 입니다. C-Seal은 파트 설계가 단순하여 파트에 단순히 면만 잡아도 밀폐가 우수히 이루어집니다. C-Seal이 가스켓만 있다면 그 특성상 위치를 잡는것이 어려우나, 보통 같이 조립되는 플레이트 브라켓과 같이 제공되어 어렵지 않습니다.

웨이퍼 온도는 어떻게 결정되나요?정상 상태에서 웨이퍼로 유입되는 열의 양은 유출되는 열의 양과 같아야 합니다. 웨이퍼 가장자리(확실히 중요한 위치)를 제외하면 문제는 본질적으로 1차원적입니다. 열은 가열된 웨이퍼 압반에서 웨이퍼로 흘러들어가 가스와 챔버 천장으로 나갑니다. 상황은 아래에 개략적으로 표시됩니다.웨이퍼는 헬륨과 같은 주변 가스 또는 의도적으로 도입된 후면 가스를 통한 전도에 의해 가열됩니다. 이는 천장으로 방사되어 대류 및 전도를 통해 주변 가스를 가열할 수 있습니다. 열유속은 무엇입니까?대류로 인한 열 손실의 상한은 챔버로 들어가는 모든 가스가 천장 온도에서 챔버로 들어간 다음 웨이퍼 온도까지 가열된다는 가정에 의해 설정됩니다.수백 sccm의 흐름에 대해 이는 2-7W 정도의 열 유속을 초..

샤워헤드가 포함된 반도체 Process Reactor에서는 일반적으로 상단에 샤워헤드를 배치하고 하단에 웨이퍼가 올려진 히터를 사용합니다. 우리가 관심을 갖고 있는 근본적인 문제는 샤워헤드를 통과하는 가스 흐름에 투입된 전구체(Precursor)가 어떻게 표면에 도달하는가입니다. 증착 속도는 흐름, 압력 및 크기에 따라 어떻게 달라지는지 알아봅시다.  샤워헤드 자체를 이상적인 다공성 재료로 근사하고 흐름을 비압축성으로 취급하면 가스는 샤워헤드에서 균일하게 분배되지만 주변에서 나가려면 방사형으로 움직여야 합니다.   따라서 모든 지점에서 내부에 들어온 모든 가스는 외부로 흘러야 합니다. 분배하는 면적은 반경의 제곱에 따라 증가하고 주변 면적은 선형이므로 가스의 방사상 속도는 방사상 거리에 따라서 선형적으로..